場發射掃瞄式電子顯微鏡
(SEM)

壹、儀器設備
1. 英文名稱：JEOL JSM-6700F Field Emission Scanning Electron Microscope
2. 中文名稱：JEOL JSM-6700F場發射掃描式電子顯微鏡
3. 重要規格：
（1）電子槍 冷陰極型式
（2）解析度 1.0 nm (15KV) 2.2 nm (1KV)
（3）電子槍真空度 10-8 Pa以下
（4）倍率 25至650,000倍
（5）加速電壓 0.5 to 30 KV
（6）探針電流 10-13 to 2×10-9 A
（7）試片大小限制 直徑Φ25 mm × 高度10 mm
（8）試片載台 中心式試片台、X-Y移動範圍:70 mm x 50 mm、旋轉範圍:360°、工作距離:1.5 mm to 25 mm、傾斜角度:-5° to +60°
（9）馬達驅動載台 3軸 (X,Y,R)
（10）影像輸出 儲存為*.bmp或 *.jpg或*.tif等電子圖檔 video printer輸出

4. 儀器說明：
（1）購置年月：2007年 3月
（2）電子顯微鏡主要是由電子槍 (Electron Gun) 發射出高加速電壓之入射電子束，經過一組磁透鏡聚焦 (Condenser Lens) 聚焦後，用遮蔽孔徑 (Condenser Aperture) 選擇電子束的尺寸(Beam Size)後，通過一組控制電子束的掃描線圈，再透過物鏡 (Objective Lens) 聚焦，打擊在試片後，產生相關二次訊號來分析各種特性，一般的二次訊號包括直射電子、散射電子、二次電子、背向散射電子、Auger電子及X射線等訊號， 然後再將這些訊號經由適當之檢測器(Detector）接收後，經放大器（Amplifier）放大，然後送到顯像管（Braun Tube）上成像。掃描式電子顯微鏡由於景深（Depth of Focus）大，對於研究物體之表面結構功效特別顯著，例如材料之斷口、磨損面、塗層結構、夾雜物等之觀察研究。場發射掃描式電子顯微鏡除了跟傳統掃描式 電子顯微鏡相同地可觀察物體之微結構外，它由於高電場所發射之電子束徑小，亮度高，具有傳統掃描式電子顯微鏡所明顯不及之高解析度，其解析度可高達1.0 nm(15 KV)、2.2 nm(KV)，另可在低電壓(可低至0.5 KV)下操作，具直接觀察非導體之功能。本儀器之製造廠商及型號為日本JEOL JSM-6700F冷陰極(Cold Cathode)場發射掃描式電子顯微鏡。冷陰極場發射電子槍較其他熱場發射(Thermal)及蕭基(Schottky)電子槍而言，其優點是電子束與 能量散佈相當小，且在超高真空下操作，解析度佳。

貳、服務項目
各種材料（包含高分子、生醫材料、金屬、電子與陶瓷材料）試片之顯微結構觀察及照相，二次電子影像(SEI及LEI)，背向散射電子影像(BEI)，但磁性材料(含鐵、鈷、鎳成分)及粉體材料恕不受理。

參、申請服務辦法
1. 開放時段：週一至週五 上午9:00~晚上21:00，每兩小時為一個時段。假日機器保養及測試，不對外開放。
2. 注意事項：
（1）儀器之使用以實驗室教授為申請單位，時間排定後有任何問題請於上機前一天通知取消，否則費用照計。
（2）網路預約方式：每星期一0:00起可預約下星期之時段。
（3）具有執照資格之同學，每次最多可申請三個單元（2小時）上機時間，待每星期三中午後，若尚有時段方可再行預約。
（4）具有磁性材料(含鐵、鈷、鎳成分)及粉體之材料，恕不受理。
（5）由於電子槍須在超高真空下操作，為防止試片上吸附水氣及雜物影響觀察，試片最好加熱烘烤後，再置入試片室中，因此無法烘烤之試片請事先說明。未處理之試片可能無法觀察到超高解析影像。
（6）生物試片請先自行脫水乾燥。
（7）不導電或低導電性材料可先使用白金濺鍍機濺鍍。
（8）使用者有義務 保持整個儀器室及機件周邊之清潔。
（9）使用記錄簿請確實填寫。
（10）請使用光碟燒錄存取電子檔，以防隨身碟病毒入侵電腦系統

肆、收費標準
1. 高分子所/本校化工系(所)成員
• 每時段 2小時： 1050 元
• 白金濺鍍機：每30秒以210元累計，若不足30秒，則以30秒計費
• video printer輸出：每張 105 元
• 影像檔：每一影像檔 21 元
• EDX分析：每點加收105元
2. 本校其他單位
• 每時段 2小時： 2100 元
• 白金濺鍍機：每30秒以420元累計，若不足30秒，以30秒計費
• video printer輸出：每張 105 元
• 影像檔：每一影像檔 21 元
• EDX分析：每點加收315元
3. 校外委託代測
• 每時段 2 小時：4725 元
• 白金濺鍍機：每30秒以630元累計，若不足30秒，以30秒計費
• video printer輸出：每張 105 元
• 影像檔：每一影像檔 21 元
• EDX分析：每點加收525元
（以上收費標準不包含代為操作費用。如需操作人員代為操作，另收代測費：每時段 2小時/2100 元）

伍、聯絡人
1. FE-SEM服務聯絡人：楊濰甄同學 (02) 3366-3061；gweid0723@gmai.com
2. 負責教授及連絡電話： 陳文章 教授 (02) 2362-8398
3. 當您使用過本儀器後若有任何建議或有所批評指教的地方，請向負責教授反應，謝謝。

陸、管理委員會
第一條：管理委員會之產生
1. 本委員會設委員八人，所長為當然委員，其餘人由所長提名經所務會議同意組成，現任所長為本委員會召集人。
2. 本委員會之委員任期為二年，得連任之。

第二條：成員
1. 召集人：陳文章教授
2. 管理委員：高分子所專任教師。
3. 技術人員：十一位具有A級認證資格之FE-SEM助教。

第三條：工作要點
1. 本委員會每學期至少開會一次，須有三分之二以上委員出席始得開會，二分之一以上出席委員同意，始得作出決議。
2. 本委員會負責處理下列事務：
（1） 貴重儀器設備管理辦法之制訂與修訂。
（2） 貴重儀器設備之管理。
（3） 貴重儀器設備使用糾紛之協調與仲裁。
（4） 貴重儀器設備收費標準之制定與修訂。
（5） 對違反儀器設備管理辦法及實驗室安全之處分建議。

柒、使用資格認定
一﹑ 前言
為充分服務使用者，發揮儀器效能，以疏解日益增多的服務需求，並收人才訓練之效，特訂定本辦法。

二﹑資格之認定標準
A級: 可完全自行操作之使用者，白天上班時間或夜間假日皆可使用。
B級: 可於白天上班時間使用，但僅限簡易之操作。
C級: 於白天上班時間，全程由技術人員代為操作。

三﹑ A級執照訓練細則
1. 培訓資格:
（1）修習過專業電子顯微鏡課程且成績及格之高分子所合聘教授研究生。
（2）儀器管理人員做過筆試考核通過者。
2. 儀器訓練:
（1）具有使用資格之研究生，可申請儀器訓練。
（2）儀器訓練由儀器管理人員負責進行，或由各實驗室A級使用者代為訓練後與管理者申請檢定。
（3）儀器訓練每學年一梯次，同實驗室者不得重複報名。學習時間每週兩小時，以10次為限，若10次內無法通過執照考核，將待別梯次重新申請儀器訓練。
3. 檢定考試:
檢定考試包含口試與操作考試兩部份，考試時間為1小時，可視情況予以延長，鑑定考試未通過者，需等三週後方可在申請考核。
4. 口試：儀器基本原理與緊急狀況之處理。
5. 操作考：alignment步驟與試片影像拍攝之流程

四﹑ B級執照訓練細則
培訓資格同A級執照，參加過3次以上之儀器訓練講習者，經儀器管理人員核可獲B級執照認定。B級操作者晉升A級之辦法(實際操作20小時並與管理者提出申請)。

五﹑ C級執照訓練細則　
一般儀器預約使用者皆為C級執照。

六﹑ 使用者須知
使用前需確認儀器狀況正常方可上機使用，使用後請務必詳細填寫使用記錄簿，若遇突發之狀況如停電，燈絲燒毀等也需詳細填寫上去說明情況。
若因人為之不當使用造成儀器之毀損，將視情況予以禁用一段時間，嚴重者，取消其使用執照。