表面輪廓計

壹、儀器設備
(一) 英文名稱： MICROFIGURE MEASURING INSTRUMENT-Surfcorder ET3000
(二) 中文名稱： 表面輪廓計
(三) 重要規格：
利用Surfcorder ET3000表面輪廓儀來進行2D表面輪廓的量測。儀器乃以機械傳動方式，藉探針掃描試片表面之高低差異，將探針上下震動的機械訊號，經轉換與運算放大而繪製剖面圖，進而得知膜厚變化與表面粗糙度。
1. Sample size : Up to 160x160mm
2. Pick-up Force :
(1) 10uN-500uM (1mgf-50mgf)
(2) Range : 600um
(3) Sensor type : LVDT direct motion
(4) Stylus : 2um 60 degree tip
3. X axis Range: 100mm
(1) Straightness : 0.2um/100mm
(2) Speed : 0.005-20mm/sec
(3) Accuracy : +/-5um position
4. Z axis Range : 52mm
5. Permitted limit : ±3%
(四) 儀器說明：
1. 購置年月：2008年9月

貳、服務項目
利用Surfcorder ET3000表面輪廓儀，可量測物質表面厚度與其表面型態粗糙度。

參、申請服務辦法
(一) 儀器管理者：賀勁傑同學 (02) 3366-1773；Email: D08524006@ntu.edu.tw
(二) 負責教授：陳文章教授 (02) 2362-8398
(三) 當您使用過本儀器後若有任何建議或有所批評指教的地方，請向負責教授反應，謝謝。
(四) 開放時段
第一操作時段：週一至週五上午9:00~12:00
第二操作時段：週一至週五下午2:00~5:00
(五) 使用資格：高分子所教授所指導的學生，經訓練與檢定考試通過之後，才能夠自行操作儀器。
(六) 操作辦法：
1. 若實驗室未有操作合格者，請派一位同學與儀器管理者學習操作流程，並取得合格操作資格。
2. 凡操作者須經由儀器管理者認定核可，取得操作資格，得以自行上機操作
3. 未有操作資格者，須由各實驗室已取得合格操作者陪同操作，經上機練習， 與儀器管理者申請操作資格，經核可取得操作資格，得以自行上機操作。
(六) 注意事項
1. 儀器之使用以實驗室教授為申請單位，時間排定後有任何問題請於上機前24小時通知，否則費用照計。
2. 每次最多可申請3小時，待做完後始可再預約。
3. 待測樣品，不可為未乾或易粘針的樣品。

肆、收費標準
(一) 高分子所成員：158 元/hr
(二) 本校其他單位：525 元/hr
(三) 校外委託代測：1000 元/hr
（以上收費標準不包含代為操作費用。如需操作人員代為操作，每時段 525 元/hr）